拆开一台刻蚀机，你会看到这么多陶瓷部件！

【资料图】

什么是刻蚀机？先简单说一下名称，大家叫“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”。

等离子体刻蚀设备的结构示意图

刻蚀机腔体

图源：NGK

聚焦环

绝缘环

© 滤波器 微信公众号

关键词：